Содержание материала

Предлагается следующая модель накопления объемного заряда, основанная на теории электронных лавин Таунсенда с учетом процессов прилипания электронов к молекулам [6, 9].
Необходимые для количественных оценок значения а/p и η/ρ, т. е. отношений коэффициента ударной ионизации газа а к его давлению р и коэффициента прилипания электронов η к р использовались как табличные функции по данным Гаррисона и Джеболла [13, 14]. При конструировании модели процесса были приняты следующие упрощающие допущения.

  1. Время формирования электронной лавины в сильном электрическом поле около поверхности электрода с меньшим радиусом кривизны много меньше периода колебаний высокочастотного напряжения, приложенного к разрядному промежутку. Поэтому принималось, что лавина образуется мгновенно и ее характеристики соответствуют тому значению электрического поля, которое было в рассматриваемый момент времени.
  2. Искажение электрического поля пространственным зарядом не учитывалось. Такое допущение может быть справедливым до напряжений, меньших разрядного напряжения на несколько процентов.
  3. Напряженность электрического поля Е(х) вдоль центральной силовой линии в точках на расстоянии х от электрода с меньшим радиусом кривизны рассчитывалась по формуле для радиального поля (см. [15])

(1-2)
где kн — коэффициент неоднородности электрического поля для данного разрядного промежутка (например, шар—плоскость), r0— радиус кривизны электрода с меньшим радиусом кривизны (шара), п — показатель степени, определяющий быстроту изменения электрического поля с изменением х, и — напряжение между электродами (мгновенное значение), L — расстояние между электродами вдоль центральной осевой линии.  
Опускаем подробный ход рассуждений, приводим только поясняющие моменты.
Число электронов в лавине пе, образованных электроном, стартующим вдоль центральной силовой линии от электрода с меньшим радиусом кривизны, и прошедшим расстояние х,

(1-3)
где— эффективный коэффициент ударной ионизации.
Количество положительных п+ и отрицательных п_ ионов, образованных этой же лавиной
(1-4)
Для учета поглощения положительных ионов электродом с меньшим радиусом кривизны г0 рассмотрим рис. 1-7, а—д. Пусть электрон образовал лавину в момент амплитудного значения отрицательного напряжения на вершине шара (см. рис. 1-7,а). В течение следующей четверги полупериода положительный объемный заряд хвоста лавины длиной l+ (амплитуда колебания иона) поглотится на шаре (рис. 1-7,б). В дальнейшем остаток объемного положительного заряда удалится к противоположному электроду (к плоскости) (рис. 1-7,в,г) и будет колебаться между электродами, размываясь благодаря процессам расталкивания, диффузии и турбулентного движения воздуха. Определенная часть ионов, пропорциональная общему объемному заряду, будет захвачена потоком воздуха и отмечена как ток положительных ионов на коллектор (1+). Аналогичные рассуждения можно привести и для отрицательного объемного заряда (см. рис. 1-8, а—d).  

Рис. 1-7. Фазы изменения объемного положительного заряда в разрядном промежутке шар—плоскость за один период ВЧ напряжения


Рис. 1-8. Фазы изменения объемного отрицательного заряда в разрядном промежутке шар—плоскость за один период ВЧ напряжения

Вычисления показывают, что при амплитудном значении напряжения
(1-5)
Так как подвижности положительногои отрицательного ионов в воздухе мало отличаются, то принималось, что l+=l_.
Приведенные рассуждения позволяют найти формулу для числа положительных ионов, накапливающихся в разрядном промежутке за полупериод при непрерывной эмиссии фотоэлектронов с поверхности шара, и умножив это число на частоту, определить количество зарядов, образующихся и накапливающихся в единицу времени.
Учитываются также следующие процессы ухода (убывания) отрицательного и положительного объемного заряда из разрядного промежутка:
диффузия к электродам;
рекомбинация положительного и отрицательного зарядов;
ускользание ионов вместе с потоком воздуха;
турбулентное перемешивание, ведущее к повышенным значениям ускользания на электроды.
Через много периодов внутри разрядного промежутка устанавливается равновесное количество отрицательного и положительного объемного заряда, не зависящее от времени. Это произойдет, когда количество ионов, образованных внутри разрядного промежутка в единицу времени станет равным количеству ионов, убывающих из разрядного промежутка вследствие  одновременного действия всех перечисленных факторов в эту же единицу времени.

Вычисления позволяют определить отдельно р+ и р_ — средние объемные плотности положительного и отрицательного объемного заряда:

где b — показывает, какая часть заряда попадает на коллектор.
Эти токи измеряются экспериментально на установке, описанной ранее, и результаты расчета можно сравнить с экспериментом.
1-5. Измерения характеристик положительного и отрицательного объемных зарядов
Были измерены зависимости тока положительных I+ (Um) и отрицательных 1_ (Um) ионов на коллектор от амплитудного значения напряжений высокой частоты для разрядных промежутков различной формы. Для примера на рис. 1-9 показаны зависимости I+ (Um) для промежутка плоскость—плоскость с расстоянием между электродами от 0,8 до 1,8 мм при частоте 3 МГц. По оси ординат отложено значение тока на коллектор в полулогарифмическом масштабе. Ток  возрастает с ростом напряжения почти экспоненциально и увеличивается от момента своего обнаружения на три порядка, т.е. в тысячу раз, пока напряжение не станет близким к пробивному.


Рас. 1-9. Зависимость тока положительных ионов на коллектор от напряжения частотой 3 МГц

Рис. 1-10. Зависимость тока отрицательных ионов на коллектор от напряжения частотой 7 МГц

На рис. 1-10 представлены типичные зависимости тока отрицательных ионов от амплитудного напряжения. Функция I_ (Um) более сложная, чем для положительных ионов. В зависимости от расстояния между электродами имеется один или два максимума. Второй максимум обнаруживается для более длинных промежутков при меньших частотах. Ток I_ отложен по оси ординат в линейном масштабе.
На рис. 1-11 представлены экспериментальные зависимости тока I+(Um) для разрядного промежутка шар—плоскость при различных частотах.
На рис. 1-12 и 1-13 представлены данные измерений зависимостей I-(Um) и I+(Um) для промежутка острие—плоскость. Наблюдается четкая экспоненциальная зависимость I+ от напряжения. Чем выше частота, тем раньше можно обнаружить положительный объемный заряд. Ток отрицательных ионов I_ начинается практически от нуля напряжения и быстро растет, достигая значения 10-13 А, после чего рост I_ замедляется. Перед пробоем ток I_ опять резко возрастает.
На рис. 1-14 и 1-15 приведены результаты сравнения теории и эксперимента для разрядного промежутка шар—плоскость. Штриховые кривые вычислены с помощью ЭВМ по формулам (1-6—1-10). Сплошные кривые — экспериментальные.

Рис. 1-11. Зависимость тока положительных ионов на коллектор от напряжения ВЧ для разрядного промежутка шар—плоскость при различных частотах:
• - 1000 кГц; х - 200; о — 100; ∆ - 50



Рис. 1-13. Зависимость тока отрицательных ионов на коллектор от напряжения ВЧ для разрядного промежутка острие—плоскость. Обозначения те же, что и на рис. 1-12

Экспериментальные и теоретические зависимости I+ (Um) для данного разрядного промежутка удовлетворительно совпадают при исследованных частотах. Правильно описывается общий ход поведения кривых I_(Um): при малых напряжениях U_ медленно растет с увеличением напряжения, при больших напряжениях — быстро.

Рис. 1-14. Зависимость тока положительных ионов на коллектор от напряжения ВЧ для разрядного промежутка шар—плоскость. Сплошные кривые — экспериментальные, штриховые — теоретические. Обозначения те же, что и на рис. 1-11

Рис. 1-15. Зависимость тока отрицательных ионов на коллектор от напряжения ВЧ для разрядного промежутка шар—плоскость, r0=3 мм, L0=10 мм. Сплошные кривые — экспериментальные, штриховые — теоретические. Обозначения те же, что и на рис. 1-11
1-6. Влияние объемных зарядов на электрические поля разрядных промежутков

Понятно, что накапливающиеся в разрядном промежутке положительный и отрицательный объемные заряды будут создавать свои «внутренние» электрические поля. Благодаря суперпозиции этих полей с внешним полем, т. е. полем, создаваемым за счет напряжений, приложенного к электродам, создается иная пространственная картина распределения результирующего поля, другими словами, поле искажается. Очевидно, что в результате этого механизм формирования предразрядных процессов и развития самого разряда в значительной степени усложняется. Поэтому при исследовании газового разряда важно уметь рассчитывать искажения электрического поля накапливающимся объемным зарядом. В математическом плане это достаточно сложная задача, так как необходимо знать распределение плотности объемных зарядов в промежутке р+ (х) и р_ (х), которые, вообще говоря, имеют непростую форму, кроме того и распределение внешнего поля, как правило, не является однородным. Поэтому при расчетах результирующего поля в газоразрядном промежутке часто прибегают к тем или иным, оправданным в каждом конкретном случае, физическим приближениям.

Однородные и слабонеоднородные поля.

В этом случае внешнее электрическое поле Е либо вообще одинаково в любой точке разрядного промежутка (Е=U/L), либо, если напряженность электрического поля монотонно убывает от одного электрода к другому, то вдоль центральной силовой линии оно может быть выражено соотношением [15, 16]
(1-11)
где т— показатель степени, характеризующий скорость спада поля;  — максимальная напряженность внешнего поля у электрода с радиусом кривизны поверхности r0; r — расстояние от центра кривизны электродас радиусом r0 до некоторой точки на центральной силовой линии. При этом kи вычисляется для различных промежутков по известным соотношениям [15].
Для расчета поля объемного заряда в рассматриваемых конфигурациях обычно применяют следующие упрощения. Если речь идет о диапазоне частот переменного напряжения, то время пролета электронами всего разрядного промежутка (т.е. время развития лавины) принимается много меньшим периода колебаний напряжения. Таким образом, в указанных промежутках допускается накопление только положительного объемного заряда.
Далее, поскольку заряд, распределенный равномерно по всему объему промежутка, как показано в [17], не способен привести за счет искажения внешнего поля к наблюдаемым снижениям начального напряжения ВЧ разряда, то предполагается, что он накапливается в узком цилиндрическом слое, соосном с центральной силовой линией. Длина этого цилиндра Lи, называемая длиной зоны ионизации, определяется из условия, что в любой точке на его оси αэф>0. В случае однородного поля она совпадает с длиной всего промежутка L, в слабонеоднородных полях Lи<L.
Однако, если распределение р+ (х) от отдельной лавины соответствует экспоненциальному закону, то полагается, что в результате наложения зарядов от серии лавин, проходящих как в отрицательный, так и положительный полупериоды, плотность зарядов выравнивается, т.е.[16].
Все это приводит к тому, что если воспользоваться уравнением Пуассона для определения поля объемного заряда Ео.з в точке r для промежутка с радиальным полем, то получим простое соотношение:
(1-12)
где φο.з — потенциал поля объемного заряда;Ф/м.
Решение этого уравнения имеет вид
(1-13)


Окончательно результирующее поле в промежутке в любой точке центральной силовой линии


Рис. 1-16. Распределение электрических полей в промежутке плоскость—плоскость: Е — напряженность внешнего поля; Ео.з — напряженность поля накапливающегося положительного объемного заряда; Е∑ — напряженность суммарного поля

Ε∑= Ε + Εо.з. (1-19)
В зависимости от направления внешнего поля (полярности потенциала на рассматриваемом электроде) поле объемного заряда будет по-разному влиять на распределение суммарного поля вдоль центральной силовой линии, что иллюстрирует рис. 1-16 для частного случая однородного электрического поля. Из рисунка видно, что результирующее поле возрастает возле отрицательного электрода и убывает у положительного.
В случае неоднородного поля, наибольшее его значение будет возле электрода с меньшим радиусом кривизны r0 и его усиление полем объемного заряда, очевидно, возможно, когда этот электрод имеет отрицательный потенциал. Таким образом, предполагается, что во всяком случае в слабонеоднородных полях положительный объемный заряд р+ будет приводить к снижению начального напряжения ВЧ разряда по отношению к его значению при постоянном напряжении, именно в отрицательный полупериод. Другими словами, разряд должен возникать именно тогда, когда электрод с меньшим радиусом кривизны имеет отрицательный потенциал [17].

Резконеоднородные поля.

В этом случае отыскание распределения потенциала и напряженности электрического поля при заданной разности потенциалов между электродами и известной плотности объемного заряда с использованием уравнения Пуассона является трудоемкой задачей. Проблема заключается в том, что распределение поля и объемного заряда являются сложными функциями, которые часто невозможно представить в аналитическом виде.
Поэтому большое количество работ посвящено расчету внешнего электрического поля в отсутствие объемного заряда в промежутке [15, 18, 19]. Ряд аналитических решений для распределения поля и потенциала в разрядных промежутках с электродами определенной конфигурации удается получить благодаря преобразованию уравнения Пуассона к разрешимому виду. К таким электродам, например, относятся софокусные параболоиды, концентрические цилиндрические электроды, гиперболоид вращения—плоскость, концентрические сферы и другие. Иногда находятся приближенные решения по методу изображения, когда заведомо известно существование эквипотенциальных поверхностей, например, система двух одинаковых сфер или сфера против плоскости и др. [20].
Как отмечалось выше, много исследований проводится в промежутке острие—плоскость или острие—острие. Для удобства сравнения и обеспечения воспроизводимости результатов измерений форма острия стандартизирована. Острие представляет собой цилиндрический стержень, на конце которого выполнена полусфера того же диаметра (см. рис. 1-17) [21]. В [20] приводится расчет электрического поля для промежутка с электродами указанной конфигурации. Расчет был сделан для случая, когда L/r0>>50. В [21] обсуждается решение уравнения Лапласа путем его сведения к разностным уравнениям, что позволило рассчитать распределение поля в рассматриваемой конфигурации, когда L/r0=10+1. Подробно аналогичная методика расчета поля в промежутке острие—плоскость рассмотрена в [22].
Разрядный промежуток острие—плоскость
Рис. 1-17. Разрядный промежуток острие—плоскость

Расчету электрических полей в промежутках с резконеоднородным полем при наличии объемного заряда посвящено меньше работ, при этом обычно рассматривается установившаяся фаза электрического разряда [23, 24]. Влияние же поля объемного заряда по мере его накопления на внешнее поле в большинстве случаев рассматривается только на качественном уровне
Одна из попыток количественного расчета поля объемного заряда и его влияния по мере накопления заряда на внешнее поле в промежутке острие—плоскость описана в работах Бесхлебного и Куду [25, 26]. Принцип расчета такой же, как и изложенный выше для слабонеоднородных полей, т.е отдельно вычисляется внешнее поле, и поле объемного заряда, а результирующее поле определяется по формуле (1-19).
Для упрощения расчетов предполагалось, что лавины развиваются вдоль центральной силовой линии, которая в данном промежутке совпадает с его осью симметрии. Поэтому внешнее поле рассчитывалось только на оси промежутка по упрощенной методике [27]:

причем в силу того, что в резконеоднородном поле процессы ионизации имеют место в узкой области возле острия, поле рассчитывалось только в этой ионизационной зоне.
Для учета поля объемного заряда, накапливающегося в промежутке, принята следующая последовательность вычислений. Прежде всего, для данной формы разрядного промежутка, частоты и напряжения, приложенного к нему, вычисляется внешнее электрическое поле на оси промежутка, длина зоны ионизации, проходимый ионом за четверть периода, по методике, предложенной в [27]. Затем вычисляются зависимость общего числа положительных ионов, создаваемых лавиной Ν+, и радиуса головки лавины rл от проходимого ею пути, и распределение плотности объемного заряда вдоль оси промежутка.  

После этого можно рассчитать поле этого объемного заряда, или сохранившейся его части, на оси промежутка и вносимые им искажения. По этой же схеме рассчитывается последующая лавина, но все ее параметры вычисляются уже в искаженном результирующем поле промежутка Ε∑ и т.д.
Все количественные оценки проводились только в пределах зоны ионизации по методу численного интегрирования. Для этого вся зона ионизации вдоль оси разрядного промежутка разбивалась на М участков ΔΣ. Коэффициент ионизации вычисляется по формулам [1] и [17]:


Рис. 1-18. Распределение плотности объемного заряда вдоль осн. разрядного промежутка острие—плоскость от одиночных лавин, прошедших отрицательный (1) и положительный (2) полупериоды

значения соответствующих величин в средней точке k-го участка; Lk —  расстояние от поверхности острия вдоль оси промежутка до середины k-го участка; ΔL — ширина участка;
; А и В — некоторые константы по [28]; n0-1 — начальное число электронов, инициирующих лавины; е0 — заряд электрона.
На рис. 1-18 представлены результаты расчета по изложенной методике зависимости плотности объемного зарядаот расстояния до поверхности острия для двух одиночных лавин: лавины, проходящей в момент максимума отрицательного полупериода (-ПП) на острие — кривая 1; и лавины, проходящей в момент максимума положительного полупериода (+ПП) на острие — кривая 2. Расчеты проведены при частоте f, несколько превышающей первую критическую и при напряжении на острие, равном начальному напряжению ВЧ короны. Из этого рисунка видно, что положительный объемный заряд, созданный лавиной в +ПП (кривая 2), практически весь сосредоточен на расстоянии от острия много меньше пути ∆и, проходимого ионом на четверть периода (Т/4) в результате дрейфа в электрическом поле. Это означает, что объемный заряд, оставляемый данной лавиной, спустя Т/2 после его образования, полностью поглотится острием, когда его потенциал станет отрицательным, т.е. накопление р+ от лавин, проходящих в +ПП, в указанных условиях невозможно.
С другой стороны, заряд р+, оставляемый лавиной, проходящей во время -ПП, распределен более равномерно в пределах зоны ионизации. Анализ дрейфа этого объемного заряда после его образования показывает, что та часть ионов, которая располагается на расстоянии от поверхности острия в момент прохождения лавины, уже не способна уйти на электроды (если не учитывать рассасывание этого заряда благодаря диффузии и взаимному расталкиванию ионов). Таким образом, в рассматриваемых условиях накопление Р+ происходит за счет лавин, распространяющихся от острия к границе зоны ионизации во время -ПП.
На рис. 1-19 представлена зависимость электрического поля вдоль оси разрядного промежутка от накапливаемого объемного заряда, рассчитанная для этих же условий. Цифры над Кривыми соответствуют порядковому номеру полупериода, начиная с отрицательного. Здесь же, для сравнения, приведено распределение поля от объемного заряда одиночной лавины, прошедшей в +ПП (кривая 2*).

Рис. 1-19. Распределение электрического поля накапливающегося объемного заряда от лавин, проходящих в -ПП, вдоль оси разрядного промежутка

Анализ приведенных зависимостей показывает, что внешнее электрическое поле усиливается полем накапливаемого р+ на участке размером примерно 0,2 мм от поверхности острия в отрицательный полупериод и ослабляется в положительный. В остальной части зоны ионизации, наоборот, оно усиливается в положительный и ослабляется в отрицательный. Такой характер искажения внешнего поля приводит к тому, что в отрицательный полупериод лавины развиваются в усиленном поле и поэтому от периода к периоду становятся все более мощными, а значит нарастает и оставляемый ими положительный объемный заряд.
На основании изложенного может быть предложена следующая модель формирования предразрядного процесса при частоте, превышающей первую критическую [25, 26].
На стадии перехода несамостоятельного разряда в самостоятельный прив промежутке образуются как положительный, так и отрицательный объёмные заряды.
Электрическое поле Ео.з положительного объемного заряда, накладываясь на внешнее поле Е, усиливает электрическое поле в зоне ионизации в отрицательный полупериод. При этом электрическое поле, создаваемое отрицательным объемным зарядом, в первом приближении не учитывается, так как отрицательный объемный заряд накапливается вне зоны ионизации и распределен в промежутке более равномерно, чем положительный. Роль отрицательных ионов сводится к тому, что они являются поставщиками вторичных электронов для поддержания процесса формирования ВЧ разряда: в положительный полупериод отрицательные ионы втягиваются в область сильного поля и разрушаются в нем, поставляя свободные электроны в зону ионизации (у ее границы). Указанная модель формирования предразрядного процесса позволяет дать удовлетворительное объяснение механизму возникновения разряда, изложенному в главе 2.


Зависимость начальной напряженности от частоты для промежутка с однородным полем длиной 0,2 см приведена на рис. 2-13. Она иллюстрирует переход от Eн1 к Eн2 c ростом частоты. Достигается он при частотах, составляющих (4—5) fкр2, т.е. достаточно быстро.
Таким образом, для оценочных расчетов можно принять, что для воздушных промежутков с однородным полем

Необходимо отметить, что опытные данные рис. 2-12 и 2-13 получены при δ=1. Поэтому уравнение (2-36) требует проверки при других значениях относительной плотности воздуха.